- Все
- Управление продуктом
- Новости и информация
- Вводный контент
- Предприятийские точки продаж
- Часто задаваемые вопросы
- Корпоративное видео
- Портфолио компании
Продукты
SM-HPC-300 Машина для высоконапорной очистки пластин
Модель продукта:
SM-HPC-300
Описание продукта
Подробные сведения о продукте
Особенности устройства:
1. Достигает отличной эффективности очистки при использовании с горячей деионизированной водой, двухфазными системами, сверхчистой водой на основе CO₂ и N₂.
2. Специально разработанные форсунки высокого давления, которые не повреждают деликатные структуры на поверхности пластинки, такие как медные столбики и припойные шарики.
3. Двухручьевой манипулятор и двойное устройство для снятия фасок для повышения производительности очистки.
4. Давление на сопле может достигать 4000 фунтов на квадратный дюйм, а угол регулируется.
5. Совместим с пластинами диаметром 8/12 дюймов
6. Совместим с AGV и OHT, а также поддерживает подключение по протоколу SECS/GEM.
Параметры устройства
| Основная информация | Двухкамерный или четырёхкамерный | Часовая пропускная способность | ≥24 штуки/час/полость |
| Устройство для погрузки и разгрузки | Открытые коробки для пластин, FOUP, SMIF и т.д. | Поток процесса | HPC, Мягкое напыление, HDI, Азотная обработка |
| Роботизированная рука | Одноузловая двухручьевая роботизированная рука | Метод сушки | Азотная сушка, роторная сушка |
| Размер пластины | От 6 до 12 дюймов | Использование оборудования | 95% |
| Толщина пластинки | Стандартная толщина | Степень разрушения вафель | Менее чем 1/20 000 |
| Чак | Вакуумный патрон / Патрон зажимного типа | Площадь, занимаемая оборудованием | 1850 мм длиной × 1992 мм шириной × 1943 мм высотой (без учёта воздухозаборника и выхлопа) |
Shenzhen SAM Electronic Equipment Co., Ltd.
Телефон:
0755-27620900 0755-27620902
Электронная почта:
sales@china-sam.com
Адрес:
1-й этаж, здание 13, промышленный парк Хунфа, сообщество Шисинь, субрайон Шиянь, район Баоань, Шэньчжэнь